工件靶台复合加速离子注入系统中的靶台偏压效应
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
2.Department of Physics & Materials Science,City U
中科院分区：
文献类型：
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作者：
朱宗涛;巩春志;汪志健;田修波;杨士勤;Ricky Fu;ZHU Zong-tao1,GONG Chun-zhi1,WANG Zhi-jian1,TIAN X;2.Department of Physics & Materials Science,City U
