ガスフロースパッタプロセスにおけるFeナノ粒子の成長と堆積

ガスフロースパッタプロセスにおけるFeナノ粒子の成長と堆積
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气流溅射过程中 Fe 纳米颗粒的生长和沉积

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
他
他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小林貴志;他

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