4H-SiC(0001)面のウェット酸化における水分子の役割
4H-SiC(0001)面のウェット酸化における水分子の役割
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水分子在4H-SiC(0001)表面湿氧化中的作用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡部 平司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永井 大介;細井 卓治;志村 考功;渡部 平司
