Stress generation under hydrogen plasma irradiation on metal thin film
Stress generation under hydrogen plasma irradiation on metal thin film
复制标题
氢等离子体辐照下金属薄膜应力的产生
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Tosa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.N.Itakura;S.Shin;S.Takagi;M.Tosa
