内部集光レーザダイシングによるサファイヤ内部欠陥の観察
内部集光レーザダイシングによるサファイヤ内部欠陥の観察
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使用内聚焦激光切割观察蓝宝石内部缺陷
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岩田博之,坂公恭
中科院分区:
文献类型:
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作者:
原 弥仁;堀田将臣,清水雅裕,新井 進;岩田博之,坂公恭