FEM analysis of a polymer MEMS mirror using photosensitive nanocomposite
FEM analysis of a polymer MEMS mirror using photosensitive nanocomposite
复制标题
使用光敏纳米复合材料对聚合物 MEMS 镜进行 FEM 分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Namazu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Miura;T. Suzuki;K. Terao;H. Takao;F. Oohira;Y. Kaibara;and T. Namazu
