A simulation study for lifetime distribution of time-dependent dielectric breakdown in middle-of-line affected by global and local space variations
A simulation study for lifetime distribution of time-dependent dielectric breakdown in middle-of-line affected by global and local space variations
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受全局和局部空间变化影响的中线时间相关介电击穿寿命分布的仿真研究
DOI：
10.7567/jjap.55.06jf02
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发表时间：
2016
影响因子：
1.5
通讯作者：
S.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yokogawa;S.
