S.Takei, A.Morisako, M.Matsumoto: "Discharge charcteristrics in facing targets type of sputtering method and properties of deposited thin films" J.of the Facluty of Engineering, Shinshu University. No.76. 13-20 (1995)
S.Takei, A.Morisako, M.Matsumoto: "Discharge charcteristrics in facing targets type of sputtering method and properties of deposited thin films" J.of the Facluty of Engineering, Shinshu University. No.76. 13-20 (1995)
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S.Takei、A.Morisako、M.Matsumoto：“面向靶材溅射方法的放电特性和沉积薄膜的性能”信州大学工学院学报。
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