狩野 隆司: "ECRプラズマCVD法による3CーSicの成長" 第37回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊 31aーTー9. 1. 314- (1990)
狩野 隆司: "ECRプラズマCVD法による3CーSicの成長" 第37回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊 31aーTー9. 1. 314- (1990)
复制标题
Takashi Kano:“通过 ECR 等离子体 CVD 方法生长 3C-Sic”第 37 届应用物理学会会议记录第 1 卷 31a-T-9。 1. 314- (1990)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: