Dust Particle Collector Using Electrostatic Force for Particulate Contamination Control in Plasma Enhanced CVD Reactor.
Dust Particle Collector Using Electrostatic Force for Particulate Contamination Control in Plasma Enhanced CVD Reactor.
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使用静电力控制等离子体增强 CVD 反应器中的颗粒污染的粉尘颗粒收集器。
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hayashi;Y.
