Novel Feature Vectors Considering Distances between Wires for Lithography Hotspot Detection

Novel Feature Vectors Considering Distances between Wires for Lithography Hotspot Detection
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考虑光刻热点检测线之间距离的新颖特征向量

DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
Proceedings of EUROMICRO Conference on Digital System Design Architectures, Methods, and Tools
影响因子：
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通讯作者：
Shin'ichi Wakabayashi
Shin'ichi Wakabayashi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Gaku Kataoka;Masato Inagi;Shinobu Nagayama;Shin'ichi Wakabayashi

文献摘要

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