Production and Optimization of Surface-Wave Fluorocarbon Plasma at High Pressure-猫眼课题宝

高压表面波氟碳等离子体的制备与优化

DOI：

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发表时间：

2004

期刊：

Proceedings of Int.COE Forum on Plasma Science and Technology

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

M.Kuroda;D.Mezerette;H.Sugai