Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials
Plasma-assisted reactive processes for low-temperature formation of functional materials
复制标题
用于低温形成功能材料的等离子体辅助反应过程
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuichi Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosuke Takenaka;Yuji Hayashi;Hibiki Komatsu;Susumu Toko;Giichiro Uchida;Akinori Ebe;Yuichi Setsuhara
