質量制限Snドロップレットターゲットを利用したEUV光源用レーザー生成プラズマからのデブリ挙動イメージング計測
質量制限Snドロップレットターゲットを利用したEUV光源用レーザー生成プラズマからのデブリ挙動イメージング計測
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使用质量限制的 Sn 液滴靶对 EUV 光源的激光产生等离子体进行碎片行为成像测量
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田 龍雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村 大輔;秋山 智哉;田丸 晃士;高橋 昭彦;岡田 龍雄
