K.Hokoi: "C_7F_<16>/He rf plasma CVD of a-C : F films"53rd Ann. Gaseous Electronics Conf. (Am.Phys.Soc.). JWP.70- (2000)
K.Hokoi: "C_7F_<16>/He rf plasma CVD of a-C : F films"53rd Ann. Gaseous Electronics Conf. (Am.Phys.Soc.). JWP.70- (2000)
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K.Hokoi：“a-C : F 薄膜的 C_7F_<16>/He rf 等离子体 CVD”53rd Ann。
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