K.NISHIMURA,S.URABE and M.MORITA: "Oxidation Control of Si(100)Surface in Heating-up Process"Precision Science and technology for Perfect Surface. 421-425 (1999)

K.NISHIMURA,S.URABE and M.MORITA: "Oxidation Control of Si(100)Surface in Heating-up Process"Precision Science and technology for Perfect Surface. 421-425 (1999)
复制标题

K.NISHIMURA、S.URABE、M.MORITA:“Si(100)表面加热过程中的氧化控制”完美表面精密科学与技术。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献