K.NISHIMURA,S.URABE and M.MORITA: "Oxidation Control of Si(100)Surface in Heating-up Process"Precision Science and technology for Perfect Surface. 421-425 (1999)
K.NISHIMURA,S.URABE and M.MORITA: "Oxidation Control of Si(100)Surface in Heating-up Process"Precision Science and technology for Perfect Surface. 421-425 (1999)
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K.NISHIMURA、S.URABE、M.MORITA:“Si(100)表面加热过程中的氧化控制”完美表面精密科学与技术。
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