N.Yamada, P.L.G.Ventzek他: "A Model for a Large Area Multi-Frequency Multi Planar Coil Inductively Coupled Plasma Source" Journal of Vaccuum Science and Technology A. 14. 2859-2870 (1996)
N.Yamada, P.L.G.Ventzek他: "A Model for a Large Area Multi-Frequency Multi Planar Coil Inductively Coupled Plasma Source" Journal of Vaccuum Science and Technology A. 14. 2859-2870 (1996)
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N.Yamada、P.L.G.Ventzek 等人：“大面积多频率多平面线圈感应耦合等离子体源的模型”真空科学与技术杂志 A. 14. 2859-2870 (1996)
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