A.Watanabe, Y.Nagai, and M,Matsuda: "Micropattern of Inorganic Film Prepared by UV-Irradiation and Heat-Tretment of Polyalkylsilyne Film" Jpn.J.Appl.Phys.34. L452-L454 (1995)
A.Watanabe, Y.Nagai, and M,Matsuda: "Micropattern of Inorganic Film Prepared by UV-Irradiation and Heat-Tretment of Polyalkylsilyne Film" Jpn.J.Appl.Phys.34. L452-L454 (1995)
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A.Watanabe、Y.Nagai 和 M,Matsuda：“通过聚烷基硅炔薄膜的紫外线照射和热处理制备无机薄膜的微图案”Jpn.J.Appl.Phys.34。
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