Y. Hoshi et al.: "Suppression of cone formation on carbon target during sputtering" Jpn. J. Appl. Phys.33. 4991-4996 (1994)
Y. Hoshi et al.: "Suppression of cone formation on carbon target during sputtering" Jpn. J. Appl. Phys.33. 4991-4996 (1994)
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Y. Hoshi 等人：“溅射过程中碳靶上锥体形成的抑制”Jpn。
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