共面電極型高周波マイクロプラズマの電極配置に関する検討
共面電極型高周波マイクロプラズマの電極配置に関する検討
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共面电极型高频微等离子体电极排列研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺恒雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大塚 慎;杤久保 文嘉;内田 諭;渡辺恒雄
