Sub-10 nm集光用X線ミラーのための高精度形状計測装置の開発
Sub-10 nm集光用X線ミラーのための高精度形状計測装置の開発
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亚10纳米聚焦X射线镜高精度形状测量装置研制
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金章雨，長平良綾香，西原明彦，松山智至，佐野泰久，山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Michiya Matsusaki;Paninee Chetprayoon;Mitsuru Akashi;金章雨，長平良綾香，西原明彦，松山智至，佐野泰久，山内和人
