A newly-developed wide range molecular flow meter based on AAO leak element
A newly-developed wide range molecular flow meter based on AAO leak element
复制标题
新开发的基于AAO泄漏元件的宽量程分子流量计
DOI：
10.1016/j.flowmeasinst.2019.101686
复制
发表时间：
2020
影响因子：
2.2
通讯作者：
Wei Wei
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xudi Wang;Hao Wang;Yu Hua;Qing Cao;Hailin Bi;Jun Zhang;Zhenhua Yu;Wei Wei
