High precision measurement of on-wafer LED device by CMOS-MEMS probe card with electrical contact sensing function
High precision measurement of on-wafer LED device by CMOS-MEMS probe card with electrical contact sensing function
复制标题
利用具有电接触传感功能的 CMOS-MEMS 探针卡对晶圆上 LED 器件进行高精度测量
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and Yoshio Mita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kota Hosaka;Masanori Kubota;Yu-Tang Chen;and Yoshio Mita
