MCF(磁気混合流体)研磨におけるMCFスラリーの長寿命化 MCFスラリーの再利用の検討および,その研磨特性の評価
MCF(磁気混合流体)研磨におけるMCFスラリーの長寿命化 MCFスラリーの再利用の検討および,その研磨特性の評価
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延长MCF(磁性混合流体)抛光中MCF浆料的寿命检查MCF浆料的再利用并评估其抛光性能
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
牧田直也,野村光由,藤井達也,呉勇波
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Mitsuyoshi Nomura;Kenta Nojiri;Yongbo Wu and Tatsuya Fujii;牧田直也,野村光由,藤井達也,呉勇波