今井茂 他: "Atomic Layer Epitaxy of Si Using Atomic H" Thin Solid Films. 225. 168-172 (1993)

今井茂 他: "Atomic Layer Epitaxy of Si Using Atomic H" Thin Solid Films. 225. 168-172 (1993)
复制标题

Shigeru Imai 等人:“使用原子 H 进行硅的原子层外延”薄固体薄膜。225. 168-172 (1993)

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献