Properties of chemical-vapor-deposited titanium nitride
Properties of chemical-vapor-deposited titanium nitride
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化学气相沉积氮化钛的性能
DOI：
10.1016/0040-6090(93)90688-l
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发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Selbrede
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Price;J. Borland;S. Selbrede
