大気圧プラズマジェ ットを用いた垂直深堀エッチング法の開発
大気圧プラズマジェ ットを用いた垂直深堀エッチング法の開発
复制标题
利用大气压等离子射流的垂直深蚀刻方法的开发
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中澤謙太，岩田太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村勝太;永井萌土;柴田隆行;岡本俊哉;中澤謙太，岩田太
