Fine-Patterning Process for Sol-Gel Derived Films and Their Applications to Optical Devices
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复制标题
溶胶-凝胶衍生薄膜的精细图案化工艺及其在光学器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Noma
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Noma;S.Yamazaki;N.Tohge;野間 直樹;N.Noma
