シリカガラスへのイオンマイクロビーム照射効果と光学素子作製

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离子微束辐照对石英玻璃及光学元件制造的影响

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
第35回電気電子絶縁材料システムシンポジウム、I-6、2004年11月
影响因子:
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通讯作者:
荒川和夫
荒川和夫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
深川一成;西川宏之;中村知晴;大木義路;及川将一;佐藤隆博;荒川和夫

文献摘要

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