ナノインプリント技術によるサファイア基板上へのナノ構造の形成

ナノインプリント技術によるサファイア基板上へのナノ構造の形成
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使用纳米压印技术在蓝宝石衬底上形成纳米结构

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
和地順蔵
和地順蔵
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
遠野充明;直井美貴;酒井士郎;和地順蔵

文献摘要

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