M.Nagatsu: "Production and Control of Low-Pressure Ar and CF4 Plasma Using Surface Waves" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.37 No.4B. 2406-2409 (1998)
M.Nagatsu: "Production and Control of Low-Pressure Ar and CF4 Plasma Using Surface Waves" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.37 No.4B. 2406-2409 (1998)
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M.Nagatsu：“利用表面波产生和控制低压Ar和CF4等离子体”Jpn.J.Appl.Phys.Vol.37 No.4B。
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