大村高志、大江一行: "Probe measurements and global model of inductively coupled Ar/CF_4 discharges"Plasma Source. Sci. Tech.. 8. 553-560 (1999)
大村高志、大江一行: "Probe measurements and global model of inductively coupled Ar/CF_4 discharges"Plasma Source. Sci. Tech.. 8. 553-560 (1999)
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Takashi Omura、Kazuyuki Oe：“感应耦合 Ar/CF_4 放电的探针测量和全局模型”Plasma Source。8. 553-560 (1999)
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