Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process
Effect of Fullerene Poly-hydroxide on Cu-CMP Process
复制标题
富勒烯多羟基化合物对 Cu-CMP 工艺的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuhiro Takaya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirotaka Kishida;Terutake hayashi;Yasuhiro Takaya
