A Hybrid Actuator-driven Compact Tilting Motion Table System for Multi-axis Ultraprecision Machine Tool
A Hybrid Actuator-driven Compact Tilting Motion Table System for Multi-axis Ultraprecision Machine Tool
复制标题
混合执行器驱动的紧凑型多轴超精密机床倾斜运动工作台系统
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
林遵
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
H.Tsuchihira;T.Oda;S.Tanaka;林遵
