斜方晶相を含むエピタキシャルHfO2基薄膜の結晶構造解析
斜方晶相を含むエピタキシャルHfO2基薄膜の結晶構造解析
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含斜方相的外延 HfO2 基薄膜的晶体结构分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
1154)片山きりは;清水荘雄;横内達彦;白石貴久;及川貴弘;木口賢紀;赤間章裕;今野豊彦;内田寛;舟窪浩
