三次元基板のグリーンレーザー結晶化によるLTPS-TFTフラッシュメモリの特性評価
三次元基板のグリーンレーザー結晶化によるLTPS-TFTフラッシュメモリの特性評価
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三维基板绿光激光晶化LTPS-TFT闪存特性评估
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
市川和典・松江将博・赤松浩浦岡行治
中科院分区:
文献类型:
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作者:
折原陸;佐東信司;平尾篤利;市川和典・松江将博・赤松浩浦岡行治