Measurement of Delamination Energy of Sputtered SiC Film Coated on Tool Steel Substrate
Measurement of Delamination Energy of Sputtered SiC Film Coated on Tool Steel Substrate
复制标题
工具钢基体上溅射SiC薄膜分层能的测量
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Atsushi SUGETA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiko KATO;Koumei FUJIOKA;Hiroyuki AKEBONO;Atsushi SUGETA
