Studies on phase dependent mechanical properties of dc magnetron sputtered TaN thin films:: evaluation of super hardness in orthorhombic Ta4N phase
Studies on phase dependent mechanical properties of dc magnetron sputtered TaN thin films:: evaluation of super hardness in orthorhombic Ta4N phase
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DOI：
10.1088/0022-3727/41/4/045409
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发表时间：
2008-02-21
影响因子：
3.4
通讯作者：
Santucci, S.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Valleti, Krishna;Subrahmanyam, A.;Santucci, S.
氮化钽不同相的机械硬度 (TaN(x), x
The mechanical hardness of the different phases of tantalum nitride (TaN(x), x