Deposition of ScAlN thin film using dual-sputtering method
Deposition of ScAlN thin film using dual-sputtering method
复制标题
双溅射法沉积ScAlN薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Ken-ya Hashimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoshi Fujii;Masahiro Sumisaka;Yukihiko Okada;Noriyuki Hasuike;Kenji Kisoda;Hiroshi Harima;Tatsuya Omori;and Ken-ya Hashimoto
