高エネルギー密度成膜法により作製したNd-Fe-B系磁石膜の諸特性に及ぼすターゲット組成の影響
高エネルギー密度成膜法により作製したNd-Fe-B系磁石膜の諸特性に及ぼすターゲット組成の影響
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靶材成分对高能量密度薄膜沉积法制备Nd-Fe-B磁体薄膜各种性能的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤 秀俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hatsuki R;Honda A;Kajitani M and Yamamoto T;近藤 秀俊
