阵列式静电传感器结构设计与优化研究
阵列式静电传感器结构设计与优化研究
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
唐宇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
邓湘;穆星达;唐宇
