窒化物半導体成長におけるステップバンチング機構の制御と応用

窒化物半導体成長におけるステップバンチング機構の制御と応用
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氮化物半导体生长中阶梯聚束机制的控制及应用

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
藤原康文
藤原康文
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
市川修平;船戸充;川上養一;藤原康文

文献摘要

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