Celluloid Microenclosure and Microlens Array Fabricated by SUMP method and XeF2 Vapor Etching for Microbial Analysis
Celluloid Microenclosure and Microlens Array Fabricated by SUMP method and XeF2 Vapor Etching for Microbial Analysis
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SUMP 方法和 XeF2 蒸汽蚀刻制造的赛璐珞微外壳和微透镜阵列用于微生物分析
DOI：
10.18494/sam.2018.1729
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发表时间：
2018
影响因子：
1.2
通讯作者：
Ayako Takada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihiro Matsutani;Ayako Takada
