基板上薄膜およびナノ構造物からの二次電子放出解析
基板上薄膜およびナノ構造物からの二次電子放出解析
复制标题
基底和纳米结构上的薄膜的二次电子发射分析
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安田雅昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤彰;山下和真;桑原裕司;安田雅昭
