分子動力学によるSiウェハと粘着剤の剥離挙動の研究
分子動力学によるSiウェハと粘着剤の剥離挙動の研究
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利用分子动力学研究硅片与粘合剂之间的剥离行为
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
泉 聡志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩方 裕一;泉 聡志
