Coherent optical microscopy for micro-structured surface inspection beyond diffraction limit
Coherent optical microscopy for micro-structured surface inspection beyond diffraction limit
复制标题
用于超出衍射极限的微结构表面检测的相干光学显微镜
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoru Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiromasa Kume;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
