河 兌埒,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲: "Si ウエハ酸化膜欠陥の光散乱シミュレーション"1999年度砥粒加工学会学術講演会後援論文集. 東京. 235-236 (1999)
河 兌埒,三好隆志,高谷裕浩,高橋 哲: "Si ウエハ酸化膜欠陥の光散乱シミュレーション"1999年度砥粒加工学会学術講演会後援論文集. 東京. 235-236 (1999)
复制标题
Kawa、Takashi、Miyoshi、Hirohiro Takatani、Takahashi、Satoshi：“硅晶片氧化膜缺陷的光散射模拟”日本磨料加工学会 1999 年学术会议记录，东京 235-236。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
