サブ波長構造を利用した単一材料シリコン赤外線多層干渉フィルタ
サブ波長構造を利用した単一材料シリコン赤外線多層干渉フィルタ
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采用亚波长结构的单材料硅红外多层干涉滤光片
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木仁研
中科院分区：
文献类型：
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作者：
和田武彦;槙坪宏展;三田 信;鈴木仁研
