Investigating Mechanical Strength of Multilayer Membranes for MEMS Converters of Physical Quantities
Investigating Mechanical Strength of Multilayer Membranes for MEMS Converters of Physical Quantities
复制标题
研究物理量 MEMS 转换器多层膜的机械强度
DOI：
10.22184/1993-8578.2018.82.538.541
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
A. D. Nikolay
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
E. Evgeniy;A. Anna;A. D. Nikolay
我是说，我是说。他说："我的意思是，我这是一个很好的例子。我是一个很聪明的人。你知道吗？你知道吗？你好，我是说，你是说К люч е в ы е с л о в а: м е х а н и ч е с к а я п р о ч н о с т ь; м е х а н и ч е с к и е н а п р яже н и я; м е х а н и ч е с к и е с в о й с т в а; д в у х о с н ы й м о д у л ь у п р уго с т и.本文介绍了一种机械强度、机械应力和弹性模量测定台的设计。该支架已经使用各种直径的氧化硅和氮化硅的圆形膜进行了测试。根据实验数据，分析计算了双轴模量的大小。所获得的结果之间存在良好的相关性。在超压不超过1.5 × 10 - 4大气压时，已显示出弹性变形。确定了每种直径的临界压力。已经表明，不同直径的圆形膜承受相同值的外力。
Представлена конструкция для определения механической прочности, механических напряжений и модуля упругости. Работа устройства проверена на круглых мембранах из оксида и нитрида кремния различного диаметра. Величина двухосного модуля получена аналитическим методом и рассчитана на основе экспериментальных данных. Наблюдается хорошая корреляция между полученными результатами. Показана упругая деформация при избыточном давлении не более , атм. Определено критическое давление для каждого диаметра. Показано, что круглые мембраны различного диаметра выдерживают одинаковое значение внешней силы. Ключевые слова: механическая прочность; механические напряжения; механические свойства; двухосный модуль упругости. The paper presents the design of a stand for determining mechanical strength, mechanical stresses and modulus of elasticity. The stand has been tested using circular membranes of silicon oxide and silicon nitride of various diameters. The magnitude of the biaxial module has been obtained analytically and calculated basing on experimental data. There is a good correlation between the results obtained. An elastic deformation has been shown at an excess pressure of not more than .atm. The critical pressure for each diameter has been determined. It has been shown that circular membranes of diff erent diameters withstand the same value of the external force.