スパッタ製膜したチタン酸化物薄の結晶構造制御
スパッタ製膜したチタン酸化物薄の結晶構造制御
复制标题
溅射沉积氧化钛薄膜的晶体结构控制
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
竹内将人，吉澤慶祐，細谷和輝，大家 渓，岩森 暁，中野武雄
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Kanazawa;Y. Fukumoto;S. Uechi;K. Ohoyama;M. Lederer2;N. Happo3;K. Hayashi4;K. Kimura4;S. Hosokawa5;T. Hada3;M. Harada6;K. Oikawa6;Y. Inamura6;K. Tsutsui7;竹内将人，吉澤慶祐，細谷和輝，大家 渓，岩森 暁，中野武雄
